昌平區地下空間超市餐飲備案審批的流程相對規范，具體如下：

1. 準備材料：包括但不限于地下空間使用證明、經營者身份證明、食品安全承諾書等。

2. 填寫申請表格：填寫地下空間超市餐飲備案申請表格，包括經營者信息、食品安全管理制度、場所平面布局圖等內容。

3. 遞交申請：將填好的申請表格和相關資料遞交到昌平區相關部門或代辦機構。

4. 現場核查：相關部門會對申請資料進行現場核查，確保申請人的經營場所符合食品安全標準和衛生要求。

5. 審核與審批：相關部門會對申請資料進行審核，審核通過后，申請人會收到審批結果通知。

6. 領取許可證：申請人可以憑通知到昌平區相關部門領取地下空間超市餐飲備案許可證。

需要注意的是，昌平區地下空間超市餐飲備案審批的流程雖然相對規范，但具體要求和時間可能會因具體情況而有所不同。因此，為了確保順利通過審批，建議在申請過程中密切配合相關部門的要求，及時補充和調整相關的資料。同時，也可以咨詢相關部門或代辦機構以獲取更準確的信息和指導。